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产品特色
- Loong TCB热压键合机
适用于12英寸及以下晶圆；
贴装精度：±1μm@3σ；
角度精度： ±0.01°@3σ(33mm>die>=10mm),
±0.05°@3σ(10mm>die>2mm)；
专门处理多层叠Die，异质整合 2D、2.5D 及 3D；
实时主动倾斜控制系统(Active Tip Tilt)，可以精确调节脉冲加热器的共面度；
精准力控，可提供最大300N的贴片压力，0.05N压力控制精度；
惰性环境, 实现独有的 LPC工艺制程。
